中国长城:研制成功国内首台半导体激光隐形晶圆切割机

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 7月15日深夜业信产网国头中龙技城科长份团股集司限公有“下称(中国长城”,0000在6)6号民众其公布,州下郑旗通道交轨术息技信(究院研郑称“下院轨交州河)和”智通用南有设备能于公司限定日研近国功我成导台半首隐激光体切晶圆形割机,内补国填空缺,性要害在上参数能际于国处平先水领。

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 通设备该特接纳过、质料激光殊构殊结特特计、设殊活动平台现以实可台工平加运高速在持时保动性稳固高、高精度,度动速运0达5可/mm0S,高率远效设外洋于光。在备学方面,晶据单根谱的光硅特征,业合工结应光的激用程度,适用了采长的波适率总功、和脉宽、激频的重光器,现终实最切隐形了割。

 方影像在面同用不采寸素尺像感差别、的芯片光相机,同以不配镜效的功头,产现了实识表面品倍及低别和中倍、水倍的晶圆高。调解平还设备该同载了搭系影像轴统,保以确可效割中切时的实果优认和确化,佳现最实果割效切。

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 辑任编责:张玉隐形


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路人甲
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