聚焦离子束微纳加工技术(电子束离子束光子束微纳加工技术系列专著)

离子束加工是利用荷能离子与工件表面发生物理和化学反应，从而实现 材料刻蚀、注入、沉积和改性的微米纳米加工技术。离子束加工可分为常规 离子束加工和聚焦离子束加工。近年来，随着纳米科技和半导体集成电路产 业的飞速发展，具有多功能、高分辨率的聚焦离子束加工技术受到人们空前 的重视，它已成为当前微米纳米加工的重要手段。
本书重点讲述聚焦离子束技术的原理；聚焦离子束系统的结构，包括离 子源、离子光学柱体、图形发生器和精密工件台等；聚焦离子束技术的应用 实例和发展前景。同时还探讨了聚焦离子束的有关关键技术，所述内容极具 科技前沿性和前瞻性。
作者顾文琪研究员和他的合作者，长期致力于微细加工技术的开发与研 究工作，曾获得多项成果。本书集中反映了他们数十年来的经验和体会，是 一部理论与实践密切结合的应用技术学术专著，对于从事微米纳米级加工技 术、微电子、光电子、微机械、纳米器件等研究的科技人员，相关专业大专 院校的教师、研究生和本科生都有重要的参考价值。

本书系统地介绍了聚焦离子束技术的原理、发展历史、系统分类和组成、重要分系统的设计、重要的应用实例和发展前景。为了使读者有更多的了解，还介绍了国外先进的商品型FIB系统的性能指标。本书是电子束、离子束、光子束微纳加工技术系列专著之一，可以作为从事微纳加工和半导体集成电路制造行业的研究人员和工程技术人员的技术参考书，也可以作为高等院校相应专业教师和研究生的参考书。

前言
第一章 聚焦离子束技术概论
第一节 集成电路制造中的三束技术
一、电子束技术
二、光子束技术
三、离子束技术
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