CMOS MEMS 技术与应用

本书是目前国内外唯一叙述集成化MEMS的专著。CMOS电路技术是当今微电子的主流技术，本书主要介绍如何将MEMS与CMOS电路集成的方法和应用。内容包括CMOS MEMS的制备工艺、材料表征及其与电路或系统的集成化技术；CMOS MEMS技术在惯性传感器、压力传感器、指纹传感器系统、化学传感器、生化传感器、热传感器和RF器件及系统中的应用。
　　本书由国际上20余位知名专家撰写，内容丰富，参考文献全面。适合于微电子技术、微机电系统（MEMS）技术、传感器技术、通讯技术等相关领域的高年级本科生、研究生和工程技术人员参考。

本书是目前国内外唯一叙述集成化MEMS的专著。CMOS电路技术是当今微电子的主流技术，本书主要介绍如何将MEMS与CMOS电路集成的方法和应用。内容包括CMOS MEMS的制备工艺、材料表征及其与电路或系统的集成化技术；CMOS MEMS技术在惯性传感器、压力传感器、指纹传感器、化学传感器、生化传感器、热传感器和RF器件及系统中的应用。
本书由国际上20余位知名专家撰写，内容丰富，参考文献全面。适合于微电子技术、微机电系统（MEMS）技术、传感器技术、通讯技术等相关领域的高年级本科生、研究生和工程技术人员参考。

1　制造工艺
　1.1　CMOS工艺
　1.2　CMOS兼容的微机械加工工艺模块
　1.3　MEMS和NEMS的CMOS兼容设计
　1.4　CMOS的微机械加工
　1.5　结束语
　1.6　参考文献
2　材料表征
　2.1　引言
　2.2　电特性和热电特性
　2.3　热特性
　2.4　机械特性
　2.5　结束语
　2.6　参考文献
3　单片集成惯性传感器
　3.1　引言
　3.2　集成多晶硅惯性传感器
　3.3　采用CMOS标准工艺加工的薄膜惯性传感器
　3.4　金属惯性传感器
　3.5　体硅加工集成MEMS惯性传感器
　3.6　发展趋势
　3.7　参考文献
4　CMOS　MEMS声学器件
　4.1　引言
　4.2　麦克风
　4.3　扬声器
　4.4　超声
　4.5　结论
　4.6　参考文献
5　CMOS　RF　MEMS
6　CMOS压力传感器
7　CMOS化学传感器
8　生物测定CMOS电容式指纹传感器系统
9　CMOS生化敏感系统
10　CMOS热传感器
11　电路和系统集成