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内容提要:
本书是目前国内外唯一叙述集成化MEMS的专著。CMOS电路技术是当今微电子的主流技术,本书主要介绍如何将MEMS与CMOS电路集成的方法和应用。内容包括CMOS MEMS的制备工艺、材料表征及其与电路或系统的集成化技术;CMOS MEMS技术在惯性传感器、压力传感器、指纹传感器系统、化学传感器、生化传感器、热传感器和RF器件及系统中的应用。
本书由国际上20余位知名专家撰写,内容丰富,参考文献全面。适合于微电子技术、微机电系统(MEMS)技术、传感器技术、通讯技术等相关领域的高年级本科生、研究生和工程技术人员参考。 编辑推荐:
本书是目前国内外唯一叙述集成化MEMS的专著。CMOS电路技术是当今微电子的主流技术,本书主要介绍如何将MEMS与CMOS电路集成的方法和应用。内容包括CMOS MEMS的制备工艺、材料表征及其与电路或系统的集成化技术;CMOS MEMS技术在惯性传感器、压力传感器、指纹传感器、化学传感器、生化传感器、热传感器和RF器件及系统中的应用。
本书由国际上20余位知名专家撰写,内容丰富,参考文献全面。适合于微电子技术、微机电系统(MEMS)技术、传感器技术、通讯技术等相关领域的高年级本科生、研究生和工程技术人员参考。 目录:
1 制造工艺
1.1 CMOS工艺 1.2 CMOS兼容的微机械加工工艺模块 1.3 MEMS和NEMS的CMOS兼容设计 1.4 CMOS的微机械加工 1.5 结束语 1.6 参考文献 2 材料表征 2.1 引言 2.2 电特性和热电特性 2.3 热特性 2.4 机械特性 2.5 结束语 2.6 参考文献 3 单片集成惯性传感器 3.1 引言 3.2 集成多晶硅惯性传感器 3.3 采用CMOS标准工艺加工的薄膜惯性传感器 3.4 金属惯性传感器 3.5 体硅加工集成MEMS惯性传感器 3.6 发展趋势 3.7 参考文献 4 CMOS MEMS声学器件 4.1 引言 4.2 麦克风 4.3 扬声器 4.4 超声 4.5 结论 4.6 参考文献 5 CMOS RF MEMS 6 CMOS压力传感器 7 CMOS化学传感器 8 生物测定CMOS电容式指纹传感器系统 9 CMOS生化敏感系统 10 CMOS热传感器 11 电路和系统集成 |