超大规模集成电路设计导论/高等院校电子技术系列教材
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内容提要：
本书从非微电子专业读者掌握VLSI设计知识和技能的需求出发，以器件、电路和系统设计为背景，系统全面地介绍VLSI设计的知识和方法，主要内容包括 VLSI设计概论、MOS器件设计、半导体工艺基础知识、电路设计及参数计算、基本逻辑电路设计、VLSI版图设计、半定制全定制及片上系统(SOC)的设计方法以及VLSI计算机辅助设计等。
本书是作者十多年来在清华大学计算机科学与技术系为本科生和研究生开设VLSI设计相关课程教学与 VLSI EDA研究的经验基础上，结合目前集成电路设计的发展状况编写而成。本书作为VLSI设计导论性书籍，内容广泛，叙述由浅入深，既可作为大专院校计算机、自动化、电机和机电等专业本科生和研究生学习的教材或参考书，也可作为从事VLSI设计的技术人员的参考书。 本书特色 系统性：以器件电路和系统设计为背景，全面系统地介绍VLSI设计知识和方法 实用性：配合EDA工具的上机实践，使读者全面了解和掌握VLSI设计的整个流程及设计方法 基础性：面向VLSI相关课程教学设计的基础类教材 先进性：紧密跟踪VLSI工艺、设计方法的最新发展动态，跟踪EDA领域的最新研究成果，使读者了解国内外集成电路技术的发展状况 目录：
第1章 集成电路设it概论 1.1 集成电路的发展 1.2 集成电路设计的发展 1.3 电子设计自动化技术的发展 1.4 深亚微米和超深亚微米工艺对EDA技术的挑战 1.5 VLSI设计的要求 1.6 VLSI的设计方法学 习题 第2章 CMOS集成电路制造技术 2.1 半导体材料--硅 2.2 集成电路制造技术简介 2.2.1 热氧化工艺 2.2.2 扩散工艺 2.2.3 淀积工艺 2.2.4 光刻工艺 2.3 CMOS集成电路制造过程 2.3.1 品冈处理 2.3.2 CMOS集成电路工艺(前部工序) 2.3.3 后部工序 前言：
微电子技术的飞速发展，使超大规模集成电路及其相关技术不再仅仅是微电子学科的专门知识，它已成为电子、自动化和计算机等各相关学科需要了解和掌握的基础知识。VLSI及其相关技术是现代信息技术发展的基石，对国民经济起着巨大的推动作用。随着VLSI技术的迅速发展，使VLSI设计专业与相关学科越来越紧密地联系在一起。特别是SOC技术的出现，可以将一个计算机系统集成于一个芯片上，极大地扩展了VLSI技术的应用。在国家有关产业政策的支持下，我国集成电路产业发展迅速，面临难得的发展机遇，需要大批集成电路设计方面的人才。而目前，国内集成电路计算机辅助设计领域的人才缺乏，因此，培养有VLSI设计基础的E..
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