硅微型惯性器件理论及应用

本书系统地介绍了硅微型惯性器件的理论及应用问题。全书共7章，第1章介绍微型惯性器件的物理基础；第2章至第4章为硅微型惯性器件的原理及误差分析，第5章介绍硅微型惯性器件的制备工艺；第6章简介几种微电容测量方法及硅微型惯性仪表的测控回路；第7章为硅微型惯性器件的组合及应用。
　　本书系中国船舶工业总公司“九五”规划教材，可作为高等学校测控技术与仪器及其相关专业的研究生，本科生的教学参考书，也可供从事传感器、执行器及惯性技术研究的工程技术人员阅读。

0　绪论
　0.1　微机系统与微型制造技术
　0.2　硅微型惯性器件及微惯性测量组合
1　微型惯性器件的物理基础
　1.1　硅材料的物理性能
　1.2　微型惯性器件的动力学基础
　1.3　微机械元件的弹性理论基础
2　硅微型加速度计
　2.1　概述
　2.2　原理结构
　2.3　误差分析及补偿
　2.4　硅微加速度计的测试与定标
3　硅微型框架驱动或陀螺仪
　3.1　结构组成和作用原理
　3.2　运动方程
　3.3　误差分析
　3.4　结构设计
4　硅微型梳状驱动陀螺仪
　4.1　音叉式振动陀螺仪
　4.2　静电梳状驱动谐振器
　4.3　硅微型梳状线振动驱动式陀螺仪
　4.4　硅微型梳状角振动驱动式陀螺仪
　4.5　谐振频率的调节
　4.6　硅微型振动陀螺仪的计算机辅助分析
5　硅微型惯性器件的制备
　5.1　硅微机械加工技术简介
　5.2　硅微型惯性器件的制备
6　硅微型惯性仪表的测控技术
7　硅微型惯性器件的组合及应用
参考文献