压电薄膜的制备、结构与应用

本书系统地介绍了压电学的基本原理和压电薄膜的制备方法。形成过程、结构特征及其应用。全书共分七章。前四章为压电材料与压电学基础、压电薄膜的制备方法、薄膜的结构与缺陷、薄膜结构和组成的分析测试方法。第五章和第六章为作者在AlN压电薄膜方面的研究成果:AlN薄膜的择优取向结构，AlN薄膜的表面结构和组成。第七章为压电薄膜的应用。本书体系完整。内容丰富，基础理论论述简洁。 本书可供从节压电薄膜材料研究的科技人员以及从事表声波和体波器件研制的工程技术人员参阅，也可供高等院校相关专业的师生和研究生参考。

序
前言
第一章压电材料与压电学基础
1.1压电材料的发展
1.2晶体的点阵结构和对称性
1.3晶体的压电性质
1.4压电薄膜的电学性质
参考文献
第二章 压电薄膜的制备方法
2.1真空基础基础
2.2真空蒸发镀膜
2.3溅射镀膜
2.4化学气相沉积
2.5磁控溅射制备AIN薄膜
参考文献
第三章 薄膜的形成、结构与缺陷研究
3.1薄膜的形成过程
3.2薄膜的机构
3.3薄膜的缺陷