微纳米技术的潜在应用前景
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内容提要：
微纳米技术近年来迅速发展，涉及领域越来越广泛，本书对维纳米技术的两大方面——电子系统的微型化和信息密集化，并侧重微纳米技术潜在应用前景进行了全面阐述，介绍了国外最新的微纳米技术的研究动态和发展趋势，对我国正在蓬勃兴起的微纳米技术研究和应用有很好的借鉴意义，本书的作者来自美国国家科学院、国家工程院和国家医学院的资深研究人员，读者对象为微纳米技术、微机电系统的科研人员、大学院校师生。
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缩略词 前言 第一章 绪论 1.1 背景 1.2 任务综述 1.3 "微""纳"米的具体涵义 1.4 机构报告与方法 参考文献 第二章 微纳米技术前景的展望 2.1 现状综述 2.2 半导体的国际技术规划 2.3 2001年MEMS工业组年度报告 2.4 美国国家纳米技术创新计划 2.5 纳米技术的世界前景 参考文献 第三章 纳米技术的主要拓展领域 3.1 信息技术 3.2 传感器 3.3 生物激励材料和系统 3.4 结构材料 3.5 空气动力学-推进力和动力 参考文献 第四章 可实现制造技术 4.1 制造方法 4.2 主流硅技术和纳米器件的集成 4.3 商业化 4.4 研究结论和建议 参考文献 第五章 空军微纳米技术的计划和前景 5.1 微纳米技术对空军任务的影响 5.2 空军在微纳米技术方面目前的投资 5.3 国防部和空军的投资方向 5.4 空军投资和策略和挑战 5.5 研究结论和建议 参考文献 第六章 微纳米技术契机 6.1 突出的主题 6.2 空军任务作为微纳米技术的驱动 6.3 契机出现的领域 6.4 研究结论和建议 参考文献 第七章 研究结论和建议 7.1 重要研究结论和建议 7.2 特殊的研究结论和建议 附录A 制造、设计及可靠性 附录B 委员会简介 附录C 会议和主要活动 |