微机械与微细加工技术
内容提要 ：
微机械是80年代末出现的一门崭新的学科，被誉为21世纪最具代表性的技术之一。本书共分8章，结合作者近年来的研究工作，系统地介绍了微机械学科的起源、发展过程及当前国内外该学科的研究内容与成果，内容包括微机械理论基础、微机械材料与微结构，微细加工技术、准分子激光微细加工技术、微检测技术、同传感器、微致动器臁其它微器件、典型微型电子机械系统与微机器械人等等。本书可供从事微机械研究的科技人员使用，也可供相关学科的师生参考。
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作者简介 ：
苑伟政，男，1961年生，博士、教授、博士研究生导师，师任西北工业大学现代制造工程研究所所长兼微机械与微细加工技术研究室主任，机械制造学科跨世纪学科带头人。
主要从事微机械与微细加工技术、CAM与CIMS、难加工材料切削加工与精密加工技术等方面的研究工作，近年来主持承担了包括国家自然科学基金在内的24项研究课题，获省部级科技进步奖5项，发表研究论文40余篇，其中10余篇被工程索引收入。
目录 ：
绪论
第一章 微机械理论的基础 1.1 微机械学 1.2 微动力学 1.3 微电力学 1.4 微光学 1.5 微流体力学 1.6 微热力学 1.7 微摩擦学 1.8 纳米生物学 1.9 分子装配技术 第二章 微机械材料与微结构 2.1 引言 2.2 微机械材料 2.3 微结构与微型智能结构 第三章 微细加工技术 3.1 引言 3.2 硅微细加工技术 3.3 光刻技术 3.4 牺牲层技术 3.5 外延技术 3.6 高能束刻 3.7 LIGA技术 3.8 微细立体光刻技术 3.9 精密放电加工技术与趋精密机械加工技术 3.10 微机械装配与集成 第四章 准分子激光微细加工技术 4.1 引言 4.2 准分子激光器及其工作原理 4.3 直写微细加工的准分子激光束特性 4.4 准分子激光直写微细加工 4.5 准分子激光直写微细加工系统 4.6 准分子激光直写刻蚀基本规律 …… 第五章 微检测技术 第六章 微传感器 第七章 微致动器及其它微器件 第八章 典型微型电子机械系统与微机器人 参考文献 前言：
随着微技术(Microteehnology)的不断发展，以形状尺寸微小、操作尺度极小为特征的微机械已成为人们从微观角度认识和改造客观世界的一种高新技术。微机械在国防、医疗、仪器检测、材料等领域，尤其是活动空间狭小、操作精度要求高、功能需要高度集成的航空航天等领域，具有广泛的应用前景。微机械不仅涉及微电子学、微机械学、微光学、微动力学、微流体力学、微热力学、材料学、物理学、化学和生物学等广泛的学科领域，而且涉及从材料、设计、制造、控制、能源直到检测、集成、封装等一系列的技术环节。微机械技术的发展以上述学科和技术为基础，反过来也将带动相关学科和技术的发展。此外，微机械技术还有望成为研究纳米..
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