RF MEMS 应用指南

    本书主要内容包括：微机电系统和射频、MEMS材料和制造工艺、RF开关与微型继电器、MEMS电感和电容、微电机RF滤波器、微机械移相器、微机械传输线及部件、微机械天线、RF MEMS的集成与封装。
本书可供从事微制造技术的人员阅读，也可作为相关专业人员的参考用书。

RF MEMS 理论·设计·技术

　　本书在系统讲述了MEMS的发展历史过程，主要设计方法和生产工艺之后，重点介绍了在微波、毫米波乃至亚毫米波频段，如何对MEMS中的三种基本结构形式一基础薄膜、基础桥和基础悬臂进行设计和制造；详细介绍了它们在射频开关、电感及可变电容、滤波器、移相器、微波传输线以及微机械天线中的应用。本书选用了近10年来发表的600余篇参考文献，全面反映了MEMS，RF MEMS在设计技术，制造技术和材料研制上的最新动态和成果。可以说，“RF MEMS AND THEIR APPLICAION”是一本内容新颖、全面，具有很高实用价值的参考书。

第1章 微机电系统（MEMS）和射频MEMS
　1.1 引言
　1.2 MEMS
　1.3 MEMS的微制造
　　1.3.1 硅的本体微机械
　　1.3.2 硅的表面微机械
　　1.3.3 MEMS模片焊接
　　1.3.4 LIGA工艺
　　1.3.5 聚合物MEMS部件的微机械
　　1.3.6 三维结构的微制造
　1.4 机电换能器
　　1.4.1 压电换能器
　　1.4.2 电致伸缩换能器
　　1.4.3 磁致伸缩换能器
　　1.4.4 静电执行器
　　1.4.5 电磁换能器
　　1.4.6 电动换能器
　　1.4.7 电热执行器
　　1.4.8 各种电子机械致动方案比较
　1.5 MEMS中的微型传感
　　1.5.1 压阻传感
　　1.5.2 容性传感
　　1.5.3 压电传感
　　1.5.4 谐振传感
　　1.5.5 声表面波传感器
　1.6 MEMS中的材料
　　1.6.1 MEMS用的金属及金属氧化物
　　1.6.2 MEMS用的聚合物
　　1.6.3 MEMS用的其他材料
　1.7 本书的涉及范围
　参考文献
第2章 MEMS材料和制造工艺
　2.1 金属
　　2.1.1 蒸发
　　2.1.2 溅射
　2.2 半导体
　　2.2.1 电性能和化学性能
　　2.2.2 生长和淀积
　2.3 MEMS薄膜以及淀积方法
　　2.3.1 热氧化形成的氧化物膜
　　2.3.2 二氧化硅和氮化硅的淀积
　　2.3.3 多晶硅薄膜淀积
　　2.3.4 铁电薄膜
　2.4 MEMS系统中的聚合物材料
　　2.4.1 聚合物的分类
　　2.4.2 紫外线辐射固化
　　2.4.3 MEMS中的SU-8聚合物
　2.5 硅基MEMS的体微机械加工
　　2.5.1 各向同性和方向相关的湿法刻蚀
　　2.5.2 干法刻蚀
　　2.5.3 掩埋氧化物工艺
　　2.5.4 硅熔融键合
　　2.5.5 阳极键合
　2.6 硅表面微机械加工
　　2.6.1 牺牲层工艺
　　2.6.2 牺牲层工艺中的材料系统
　　2.6.3 离子刻蚀的表面微机械加工工艺
　　2.6.4 与集成电路技术结合和各向异性湿法刻蚀
　2.7 聚合物MEMS的微立体平版印刷术
　　2.7.1 扫描微立体平版印刷技术
　　2.7.2 双光子微立体平版印刷术
　　2.7.3 聚合物MEMS的表面微机械加工
　　2.7.4 投影方法
　　2.7.5 聚合物与硅、金属、陶瓷综合架构的MEMS
　　2.7.6 微立体平版印刷术与薄膜平版印刷术的整合
　2.8 结论
　参考文献
第3章 RF开关与微型继电器
　3.1 引言
　3.2 开关的参数
　3.3 开关基础知识
　　3.3.1 机械开关
　　3.3.2 电子开关
　3.4 开关在RF和微波中的应用
　　……
第4章 MEMS电感和电容
第5章 微机械RF滤波器
第6章 微机械移相器
第7章 微机械传输线及部件
第8章 微机械天线
第9章 RF MEMS的集成与封装
参考文献

随着信息化时代的到来，信息传输量急剧增加，对信息精密度的要求也不断提高。为避免射频频段的拥挤，促使传输信道向毫米波、亚毫米波甚至光波频段发展，如通信领域中的局域多点分布网络(LMDSs)采用的频率为28GHz，工业、科学及医学(ISM)网络和无线局域网路(WLANs)选用的频率更高达60GHz。另外，为获取空间及地球的各种信息，各类技术先进的航天飞行器，包括不同用途的高、低轨道卫星，载人飞行器，深空探测器等应运而生，近年还出现了超小型的微纳卫星和编队飞行的微卫星。无论是地面无线通信网路还是空中的飞行载体，对通信、测控、导航及数据传输等设备的体积、重量和功耗都提出了更加苛刻要求。而实现这些要..

过去20年中，个人无线通信装置市场的惊人扩展，改变了微波和毫米波领域的研究方向，使它的研究重点从传统的国防产品研制转到了消费产品的应用开发。从而，产品数量得到了成倍增加，对产品的操作功能要求也大幅度减少。这样一来，就给微机电系统（MEMS）创造了条件，为它在众多现代和将来的射频（RF）、微波和毫米波系统中的应用铺平了道路。这些被称为RF MEMS的部件，虽然涵盖了几乎所有小型化装置，但它们却都不外乎是要么按微机械方式运转，要么用微机械技术制造，要么二者兼备。十分幸运的是MEMS的处理技术在过去几年中已经取得了长足的进步，使我们越来越偏重于它们在微波和毫米波乃至光波系统中的应用。MEM..