RF MEMS 理论·设计·技术

    本书共分15章：内容主要包括：RF MEMS器件的静态、动态和电磁模型；MEMS开关的制备、封闭、可靠性及功率处理能力；MEMS开关的电路设计；MEMS移相器、变容器、可调谐 振荡器和电感器；可重构的MEMS网络、滤波器、天线和子系统；MEMS电路、称相器和振荡器的相噪声分析；同时介绍了RF MEMS开关的应用领域、国际RF MEMS 研究进展及未来的发展方向。
本书取材广泛、内容深刻，是本领域的权威著作。适合微电子技术、微波技术、微机电系统技术领域的高年级本科生、研究生及工程技术人员阅读。

    Gabriel M.Rebeiz于1988年在加州理工学院获得博士学位。目前担任密歇根大学Ann Arbor分校电气工程与计算机科学系的教授。他领导一个研究小组，从事RF MEMS、RF-IC电子学、天线和系统的研究，已培养20余名博士、发表200余篇论文。 Rebeiz教授担任了下列公司或机构的顾问：欧洲空间局，Lockheed Martin,Rockwell,Boeing,Samsung,Htachi,Takata等。他是电气电子工程师协会的会士。由于他在RF MEMS开关和移相器研究方面的杰出贡献，获得IEEE2000年度微波奖。

1 微波应用的RF MEMS导论
1.1 RF MEMS的起源
1.2 RF MEMS的构造
1.3 RF MEMS开关和GaAs PIN二极管及晶体管开关比较
1.4 RF MEMS的应用领域
1.5 RF MEMS实例研究
1.6 国际RF MEMS的研究状况
1.7 RF MEMS与Si或GaAs电路的集成
1.8 线性度和互调分量
1.9 气密或非气密封装
1.10 功率处理能力和可靠性
参考文献
2 MEMS器件的力学模型：静态特性分析
2.1 固支梁的弹性系数
2.2 低K梁的弹性系数
2.3 悬臂梁的弹性系数
2.4 圆膜的弹性系数
2.5 应用梯度引起梁弯曲
2.6 静电激励
2.7 静电激励下变形梁的形状
2.8 MEMS固支梁与悬臂的直流对紧维持电压
2.9 作用在MEMS梁上的力
2.10 MEMS电容开关的自激励现象
2.11 MEMS电容开关的RF压紧维持电压
2.12 模拟模式中的电容比
2.13 静电激励梁的稳定性
2.14 MEMS器件中的电压击穿
2.15 温度变化的影响
2.16 加速度力和声波力的影响
2.17 MEMS分析软件
3 MEMS器件的力学模型：动态特性分析
……
4 MEMS开关的电磁模型
5 MEMS开关库
6 MEMS开关的加工和封装
7 MEMS开关可靠性与功率处理能力
8 MEMS开关电路的设计
9 MEMS移相器
10 分布式MEMS移相器和开关
11 MEMS变容器和可调振荡器
12 微机械电感
13 可重构MEMS网络、滤波器、天线和子系统
14 MEMS移相器和振荡相位噪声的分析
15 RF MEMS需进一步研究的工作
附录
参考文献

2003年10月我在Toronto参加第二届IEEE国际传感器会议(1EEEInterna—tional ConferenceonSensors)期间，在会议的书展中看见2003年John Wiley乙Sons出版社出版的《RF MEMS Theory，Design and Technology》一书。据我所知，这是国际上第三本RFMEMS方面的书籍，这三本书籍分别是：. (1)H．J．De Los Santos，RFMEMS Circuit Design，Artech House，Bos—ton，2002．(2)V．K．Varadan，etal，RFMEMS and eirApplications，John Wiley乙Sons，2003．(3)G．M．Rebeiz，RFMEMS Theory，Design，andTechnology，JohnWi—ley乙Sons，2003． 比较这三本书的内容，我认为De Los Santos博士所著书籍偏重RF系统；Varadan教授等人所著则是R..

微机电系统(Micro—electro—mechanical systems，MEMS)是指可以批量制造 的，集微结构、微传感器、微执行器以及信号处理和控制电路等于一体的器件或系 统。其特征尺寸一般在0．1—100Atm范围。目前国际上通常将MEMS冠以Iner— tial—，Optical—，Chemical—，Bio—，RF—，Power—等前缀以表示其不同的应用领域。 MEMS利用了当今科学技术的许多尖端成果，更重要的是它将信息处理与敏感及 执行机构相结合，改变了人们感知和控制外部世界的方式。. RF MEMS是MEMS技术的重要应用领域之一。早在20世纪80年代初期， 美国Peterson博士就已经研究了低频应用的MEMS开关，这种开关本质上是通过 机械移动来实现传输线..